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Semitron® 半导体工程塑料

产品概述

Semitron® 半导体级产品的研发,是为了帮助设计者和使用客户来优化元件制造设备的性能。另外,在元件制造时,涉及到要求高耐磨、耐化学和抗静电的特殊应用,Semitron® 半导体级产品都是理想选材。

Semitron®主要分两个系列,分别适用于元件操作和测试过程,以及下一代CMP制程。

先进聚合物材料

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    Semitron MP 370材料用在半导体制造行业,为精密测试座(socket)的设计和制作提供了更多选择性。Semitron MP 370不仅有PEEK固有的极好吸湿性和耐高温性,而且具有更高的强度和尺寸稳定性。因这款订制配方材料的机加工性能卓越,因此可以做到更为精细和干净地加工。

    • 极低的吸湿性
    • 优秀的机加工性能,可实现极小而紧密的孔模
    • 强度和刚度超越了未填充的PEEK材料
    • 内应力低和无模塑坯件的"软心"问题
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    Semitron MDS 100非常好地综合了强度、刚度和稳定性的特性。它的开发旨在用于不受控制或者高精密度要求的应用场合。Semitron MDS 100是半导体测试座(socket)、嵌套(nest)、夹具和封装设备的理想选材。

    • 24小时只有0.10% 的吸湿率(ASTM D570)
    • 耐温至210°C
    • 弹性模量 > 1,400,000 psi

抗静电聚甲醛

抗静电PEI

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    Semitron ESd 420是唯一一款真正可用于高温环境的抗静电塑料产品。

    • 表面电阻率:106 - 109 ohms/sq.
    • 热性能好
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    Semitron ESd 420V的表面电阻率为106 - 109 ohms/sq 。它是一种坚硬、高强度的材料,暴露在潮湿环境中,不会发生尺寸变化。在对热性能要求不是超高的情况下,Semitron ESd 420V是一款高性价比的替代选材。

抗静电PEEK

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    此款抗静电PEEK的表面电阻率为106 - 109 ohms/sq。Semitron ESd 480的尺寸稳定性非常高,因此成为临界测试夹具的理想选材。它的耐化学性绝佳,极适用作晶片传送,和湿制程用工具的结构件,而这些应用中,静电耗散也是非常重要的。作为跨骏Semitron ESd 材料,Semitron ESd480容易被介电击穿。(参见本页的注意事项。)

抗静电PTFE

抗静电PAI

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    Semitron ESd 520HR是行业内第一款集静电耗散(ESd)、高强度和耐热性于一体的材料。该种新型的ESd材料用在测试设备上,是加工嵌套(nest)、测试座(socket)和接触器(contactor)的理想选材,也是其他元件操作部件的理想选材。520HR在高压(>100V)下能抗介质击穿,这是它的独特及关键特性。下图呈现的是:通常用在自动测试分类机上,塑料材料表现的电性能。甚至只是暴露于中等电压下,传统碳纤维增强产品的导电性也呈现不可逆转的增强。

    在机械性能都可以胜任的情况下,只有Semitron ESd 520HR在整个电压范围内能够维持其电性能。

    表面电阻率:1010 - 1012 ohms/sq.

    静电耗散(表面电阻率,ohms/sq.)
    Semitron® ESd 2251010 - 1012
    Semitron® ESd 410C104 - 106
    Semitron® ESd 420106 - 109
    Semitron® ESd 500HR1010 - 1012
    Semitron® ESd 520HR1010 - 1012
  • keyboard_arrow_down应用示例

    IC元件测试夹具

    由于集静电耗散(ESD)和高机械强度于一身,最近一家测试夹具制造商将Semitron ESd 520HR用于加工集成电路测试头。Semitron ESd 520HR的机械强度高,因此可延长测试头的使用寿命,同时,增大每小时的测试单元。

    Semitron ESd 520HR用于测试嵌套(nest)、测试座(socket)和接触器(contactor)时,是第一款在抗静电性能和所有机械性能上都能满足要求的产品,因此非常可靠。它的抗静电性能(表面电阻率为1010 到 1012 ohms/sq.)足够最小化漏电(leakage)风险。Semitron ESd 520HR在电压高于100伏时,还能保持其电阻率,这点也极为重要。

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Semitron® CMP材料

Semitron CMP产品系列的研发,为新工具设计者和具有远大目光的终端使用者提供了这样的机会——增加单个晶圆可生产芯片的成功率,同时降低了每个芯片的生产成本。

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    CMP优化的PET-P

    Semitron CMP LL5属于下一代材料,专为尽可能大幅度提高CMP工具的性能而研发。它的颜色为白色,不透明。

    • 超长寿命材料--5倍于 PPS
    • 在CMP应用场合,温度达到 60°C 时的理想选材
    • 氧化化学反应中性能最佳--8倍于 PPS
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    CMP优化的PAI

    Semitron CMP XL20是由跨骏研发团队开发的顶级CMP材料,它的颜色为炭黑色,不透明。

    • 大大降低单片晶圆的成本
    • 性能超越PPS,在大多数工序中达到20倍
    • 高强度和刚度,带来更少的边缘损坏和更佳的一致性

了解所施的电压如何影响某种材料的阻抗性,这点很重要。一些材料只能在低电压下表现出较高的阻抗性,而电压变大时,却无法工作。这是由于介质击穿而不可逆转。静电有时可能达几千伏,因此必须考虑材料在广泛电压范围内的性能一致性。

一些材料表现不一致,并且随加工“纹理”变化而变化。