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Semitron® MPR1000

Caracetrísticas del Producto

  • Excelente resistencia al calor
  • Bajo contenido iónico y baja desgasificación
  • Bajo nivel de erosión en cámaras de plasma
  • Excelente resistencia al astillamiento, durabilidad y fácil de mecanizar
  • Material termoplástico económico con mayor nivel de rendimiento en cámaras de vacío

Semitron® MPR1000 es un nuevo material de ingeniería desarrollado para aplicaciones de semiconductores y especialmente para su uso en aplicaciones de cámaras de vacío, como las que se encuentran en procesos de decapado, ionización o CVD.

El material ha sido desarrollado en base a tres premisas fundamentales:

 

Longevidad. Incremento de la vida útil en cámaras de plasma frente a plásticos tradicionales como la poliamida (hasta 25 veces más que la poliamida en ozono)

Limpieza. Bajo contenido en iones metálicos y baja desgasificación

Precio. Menor coste global en comparación con los materiales tradicionales utilizados en aplicaciones de cámara de vacío como el cuarzo, cerámica y plásticos de ingeniería.

 

  • Perfecto para uso en cámaras de vacío basadas en plasma
  • Normalmente utilizado en anillos de sujeción, pernos, tornillos y cabezas de ducha
  • Anillos de enfoque, aislantes, ventosas y guías de obleas