
Semitron® Semiconductor Grade Produkte
Produktübersicht
Semitron®-Produkte in Halbleiterqualität wurden entwickelt, um Konstrukteure und Anwender bei der Leistungsoptimierung von Anlagen zur Geräteherstellung in der Halbleiterindustrie zu unterstützen. Abgesehen von der Geräteherstellung sind viele dieser Werkstoffe für bestimmte Umgebungen ideal geeignet, in denen eine hohe Verschleissfestigkeit, chemische Beständigkeit und eine gute Ableitung statischer Elektrizität oder antistatische Eigenschaften erforderlich sind.
Es wurden zwei Produktgruppen entwickelt: Eine Gruppe ist für die Handhabung von Bauelementen und für Testanwendungen geeignet, während die andere Gruppe von Produkten für CMP der nächsten Generation bestimmt ist.
Semitron MP 370 erweitert die verfügbaren Möglichkeiten zur Entwicklung und Herstellung von Präzisionstest-Stecksockeln für die Halbleiterindustrie. Unter Beibehaltung der ausgezeichneten Feuchtigkeitsaufnahme und hohen thermischen Beständigkeit von PEEK bietet Semitron MP 370 zugleich eine höhere Festigkeit und Dimensionsstabilität. Die nach individuellen Vorgaben entwickelte Materialzusammensetzung ermöglicht dank der exzellenten Zerspanbarkeit des Materials die Fertigung von Teilen mit feinsten und klaren Details.
Semitron MDS 100 zeichnet sich durch eine bemerkenswerte Kombination aus mechanischer Festigkeit, Steifigkeit und Stabilität aus. Der Werkstoff wurde für den Einsatz in unkontrollierten Anwendungsumgebungen oder für Anwendungsbereiche entwickelt, in denen ein hohes Mass an Präzision erforderlich ist. Dieser Werkstoff ist für Halbleitertestsockel, -platten und -befestigungen in Prüf- und Bestückungsgeräten hervorragend geeignet.
Semitron ESd 225 ist für die zur Herstellung von Festplattenlaufwerken verwendeten Halterungen oder zur Handhabung von Siliziumscheiben (Wafer) im Produktionsprozess ideal geeignet. Der Werkstoff ist gelbbraun gefärbt.
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Wafer Combs
Aus Semitron® ESd 225 gefertigte Wafer-Combs lösen Probleme, die durch elektrostatische Aufladung an Halbleiterscheiben-Transportanlagen entstehen und die in jedem Jahr Verluste in Millionenhöhe durch beschädigte Wafer verursachen (früher eingesetzte Werkstoffe: Nylon, Standard-Acetal).
Semitron ESd 410c ist zur Handhabung bzw. Manipulation integrierter Schaltkreise in einer Testumgebung hervorragend geeignet. Der Werkstoff ist schwarz und opak (lichtundurchlässig).
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Handhabungstabletts
Aus Semitron® ESd 410C bestehende Tabletts bieten eine zuverlässige Ableitung statischer Ladungen und eine gute Dimensionsstabilität (früher eingesetzte Werkstoffe: PPS, PEEK, Vespel® PI).
Semitron ESd 420 ist der einzige voll ableitfähige Kunststoff, der für den Einsatz in Hochtemperaturanwendungen geeignet ist.
Semitron ESd 420V verfügt über eine Ableitfähigkeit von 106 bis 109 Ohm pro Quadrat im gesamten spezifizierten Temperaturbereich des Materials. Semitron ESd 420V ist ein steifes und überaus festes Material, dessen Grösse auch nach Einwirkung von Feuchtigkeit unverändert bleibt. Semitron ESd 420V ist ein kostengünstiger Alternativwerkstoff für Anwendungen, die nicht unbedingt auf die hohe Wärmebeständigkeit von Ultrahochleistungswerkstoffen angewiesen sind.
Dieser auf PEEK basierende antistatische Werkstoff bietet einen elektrostatisch ableitenden Bereich von 106 bis 109 Ohm pro Quadrat. Semitron ESd 480 besitzt eine hohe Dimensionsstabilität und ist daher als Werkstoff für wichtige Prüfvorrichtungen bestens geeignet. Aufgrund seiner aussergewöhnlichen chemischen Beständigkeit ist dieser Werkstoff für den Einsatz bei der Wafer-Behandlung und in anderen strukturellen Anwendungen in Nassverfahrenswerkzeugen, bei denen eine statische Ableitung wichtig ist, gut geeignet. Wie alle Quadrant Semitron Esd-Werkstoffe ist auch Semitron ESd480 durchschlagsfest. (Weitere Informationen finden Sie in den technischen Anmerkungen auf dieser Seite.)
Ein auf PEEK basierender Werkstoff mit einem etwas höheren spezifischen Widerstand, der ähnliche physikalische Eigenschaften wie Semitron ESd 480 besitzt.
Semitron ESd 500HR, ein mit synthetisch hergestelltem Glimmer verstärkter Kunststoff, bietet eine ausgezeichnete Kombination aus guten Reibeigenschaften und einer hohen Dimensionsstabilität. Semitron ESd 500HR kann als Alternativwerkstoff für Teflon* PTFE eingesetzt werden. Semitron ESd 500HR ist für Anwendungen geeignet, in denen ein kontrollierter Abfluss statischer Ladungen unerlässlich ist. Der Werkstoff ist weiss.
Einpressteile![]()
Elektrostatisch ableitende Einpressteile, die aus Semitron ESd 500HR-Tafeln gefertigt werden, vermindern die Gefahr von Schäden an empfindlichen Bauteilen durch elektrostatische Aufladung (früher eingesetzter Werkstoff: Keramik).
Semitron ESd 520HR verfügt als erster Werkstoff über eine branchenweit einmalige Kombination aus elektrostatischer Ableitfähigkeit (ESd), hoher Festigkeit und Wärmebeständigkeit. Dieses neue ESd-Material ist für die Herstellung von Trägern, Sockeln und Kontaktgebern für Prüfgeräte und andere Komponenten zur Handhabung von Bauelementen ideal geeignet. Die wichtigste Eigenschaft von Semitron 520HR besteht in der einzigartigen Widerstandsfähigkeit dieses Materials gegen dielektrische Durchschläge bei hohen Spannungen (>100 V). In der nachstehenden Grafik sind die elektrischen Eigenschaften der gebräuchlichsten Kunststoffe verdeutlicht, die in automatischen Handhabungs- oder Bestückungsvorrichtungen verwendet werden. Bei normalen kohlefaserverstärkten Werkstoffen erhöht sich die Leitfähigkeit irreversibel, selbst wenn sie nur leichten Spannungen ausgesetzt werden.
Nur Semitron ESd 520HR behält seine ursprünglichen elektrischen Eigenschaften im gesamten Spannungsbereich bei, bietet jedoch zugleich auch die für anspruchsvolle Anwendungen unabdingbare mechanische Festigkeit.
| Statische Ableitung (Oberflächenwiderstand, Ohm/Quadrat) | |
|---|---|
| Semitron® ESd 225 | 1010 - 1012 |
| Semitron® ESd 410C | 104 - 106 |
| Semitron® ESd 420 | 106 - 109 |
| Semitron® ESd 500HR | 1010 - 1012 |
| Semitron® ESd 520HR | 1010 - 1012 |
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Prüfvorrichtungen für integrierte Schaltkreise
Ein Produzent von Prüfvorrichtungen setzt seit kurzem für die Herstellung von Prüfköpfen für integrierte Schaltkreise Semitron ESd 520HR ein, da dieser Werkstoff eine gute elektrostatische Ableitfähigkeit (ESD) und eine hohe mechanische Festigkeit miteinander verbindet. Die hohe
mechanische Festigkeit von Semitron ESd 520HR sorgt für eine längere Lebensdauer
der Prüfköpfe, so dass der Durchsatz pro Stunde (bei Tests) erhöht werden kann.
Semitron ESd 520HR ist der erste Werkstoff, der zuverlässig alle physikalischen Anforderungen für Testplatten, -stecksockel sowie Prüfkontaktgeber erfüllt und über die nötigen ESD-Eigenschaften (elektrostatische Ableitfähigkeit) verfügt. Dieses Material besitzt eine gute elektrostatische Ableitfähigkeit (spezifischer Oberflächenwiderstand 1.010 bis 1.012 Ohm pro Quadrat) und einen ausreichenden Widerstand, um das Risiko von Leckströmen zu vermindern (Überkoppelecho). Ein weiterer wichtiger Vorteil ist die Fähigkeit von Semitron ESd 520HR zur Beibehaltung des spezifischen Oberflächenwiderstandes bei Einwirkung elektrischer Kräfte mit einer Spannung von über 100 Volt.
Die Semitron CMP-Produktlinie wurde entwickelt, um Konstrukteuren neuer Werkzeuge und vorausschauend agierenden Endanwendern die Möglichkeit zu geben, die Anzahl der pro Wafer hergestellten Bauelemente bei gleichzeitiger Senkung der Kosten für Verbrauchsmaterialien je Bauelement zu steigern. Dies lässt sich durch eine Verlängerung der Lebensdauer des Sicherungs- bzw. Halterings erreichen.
CMP-optimiertes PET-P
Semitron CMP LL5 ist ein Werkstoff der nächsten Generation, der speziell zur Leistungsoptimierung von CMP-Werkzeugen entwickelt wurde. Der Werkstoff ist weiss und lichtundurchlässig.
CMP-optimiertes PAI
Semitron CMP XL20 ist ein vom Forschungs- und Entwicklungsteam von Quadrant entwickelter CMP-Werkstoff der Spitzenklasse. Der Kunststoff ist lichtundurchlässig und im Farbton Holzkohle/schwarz erhältlich.
Sie sollten wissen, wie eine angelegte elektrische Spannung die Widerstandsfähigkeit bzw. Beständigkeit eines Materials beeinflusst. Manche Werkstoffe haben eine hohe Beständigkeit bei niedrigen Spannungen, die jedoch unter extremeren Bedingungen, d. h. bei höheren Spannungen deutlich absinken kann. Diese irreversible Veränderung ist dann auf einen dielektrischen Durchschlag zurückzuführen. In diesem Diagramm ist der Effekt eines sequenziellen Anlegens einer Spannung von 100 bis 1.000 V und der anschliessenden Rücksetzung auf 100 V zur Bestimmung der Hysterese dargestellt. Da statische Elektrizität eine Stärke von mehreren Tausend Volt erreichen kann, muss ein gleichmässiges Materialverhalten im gesamten Spannungsbereich ein wichtiger Bewertungsfaktor sein.
Manche Werkstoffe reagieren jedoch sehr uneinheitlich und unterscheiden sich hinsichtlich ihrer Zerspanbarkeit. Ein Linienpaar verdeutlicht die typische Variation zwischen den Seiten (A und B) eines Probekörpers. Dieses Beispiel verdeutlicht, dass ein gleichmässiges Materialverhalten in der Praxis erforderlich ist.
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