You inspire... we materialize®

weiter

You inspire... we materialize®

weiter

You inspire... we materialize®

weiter

You inspire... we materialize®

weiter

Semitron® MPR1000

Semitron® MPR1000

Semitron® MPR1000

Produktübersicht

  • Sehr gute Wärmebeständigkeit
  • Niedriger Ionengehalt und geringe Ausgasung
  • Niedrige Erosionsrate in Plasmakammern
  • Hervorragende Splitterbeständigkeit, Festigkeit und Verarbeitungseigenschaften
  • Kostengünstigste Kunststofflösung mit höchster Leistungsfähigkeit beim Einsatz in der Kammer

Produktdetails

Semitron® MPR1000 ist ein neues Konstruktionsmaterial für die Halbleiterindustrie, insbesondere für Anwendungen in Vakuumkammern, wie z. B. bei Ätz-, CVD oder Ionisierungsprozessen.

Seine Entwicklung basiert auf drei Kernanforderungen:

  1. Langlebigkeit – Verlängerte Lebensdauer in Plasmakammern verglichen mit traditionellen Kunststoffen wie z. B. Polyimid (in Ozon bis zu 25fach längere Lebensdauer als Polyimid)
  2. Reinheit – Geringer Metallionengehalt und niedrige Ausgasung
  3. Preis – Geringe Gesamtkosten verglichen mit traditionellen Materialien für die Anwendung in Vakuumkammern wie Quartz, Keramik oder anderen Hochleistungskunststoffen

Anwendungsbeispiele

    • Ideal für den Einsatz in plasmabasierten Vakuumkammern
    • In der Regel Verwendung als Klemmringe, Schlitzringe, Schrauben, Stifte und Duschköpfe
    • Zentrierstifte, Fixierringe, Isolatoren, Vakuumauflager und Wafer-Führungen
  • Percent Weight Loss in Oxygen Plasma

2007-2014 © the Quadrant group of companies. All rights reserved.

Contact